簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Shao-Yun Fang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="二維雙向主成份分析"


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    基於機器學習之對準誤差量測模型開發
    • 自動化及控制研究所 /106/ 碩士
    • 研究生： 林子寒   指導教授： 郭鴻飛
    • 在半導體的先進製程中，對準誤差量測技術(Overlay Metrology)為關鍵的製程步驟，準確地測量出積體電路層與層之間的對準誤差(Overlay)，可以有效減少製程的重工率進而降低製程成本。D…
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